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INFICON倒置磁控管真空計MAG470的測量范圍為5×10-11毫巴至1×10-2毫巴(3.8×10-11Torr至7.5×10-3Torr)。
NFICON PBR 260是一種組合式真空計,在一個緊湊 的單一位置上作為兩個真空計運行。主要的測量原理是 根據(jù)Bayard-Alpert原理的熱陰極真空計,該真空計將由一個鉑熱傳導(dǎo)測量原理完成和支持。
TripleGauge®BCG552將3個真空傳感元件組合在一個傳感器中。這款新TrigonTM系列的旗艦產(chǎn)品提供了從UHV(5x10-10)到大氣壓(1500毫巴)的極寬測量范圍。BCG552配備有額外ATM傳感器預(yù)設(shè)計用于壓差測量,并在多種應(yīng)用 中 用 作 真 空 開 關(guān) 。
Bayard-Alpert熱電離真空計TrigonTM BAG552對于需要獨立熱電離計技術(shù)的應(yīng)用,TrigonTM系列包含單 一技術(shù)Bayard-Alpert熱電離計BAG552。BAG552設(shè)計用 于壓力范圍為5×10-10 ... 2×10-2毫巴。支持的雙燈絲提 供了zhuoyue的精度、可重復(fù)性和壽命。
新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG550)基于*的MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術(shù)。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)能夠構(gòu)建非常小且節(jié)省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術(shù),在低真空范 圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼測量得更深、更準(zhǔn)確。
皮拉尼壓電真空計 PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG570)基于*的MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器技術(shù),該技術(shù)也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。PPG570與PPG550的區(qū)別在于額外安裝的ATM傳感器,該傳感器允許在經(jīng)典的負(fù)載鎖應(yīng)用中使用PPG570。